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"1.负责先进或特色工艺模块(如光刻、刻蚀、薄膜、掺杂等)的开发与优化。 2.设计实验方案(DOE),进行工艺调试,实现关键参数(如电性、可靠性)达标。 3.协调各工艺模块,解决集成问题,确保工艺稳定性与良率提升。 分析电性测试数据,定位工艺缺陷,提出改进方案。 协助生产线完成工艺转移与量产导入。 4.针对产线异常(如缺陷、良率下降、设备偏差)进行根因分析,制定纠正措施。 5.使用失效分析工具(如SEM、TEM、EDX)进行物理性分析。 6.与设备工程师合作改进设备配置与参数。 7.支持客户技术需求,提供工艺解决方案。" |
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